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球体快速超精密光学检测技术与装备
技术与产品名称：球体快速超精密光学检测技术与装备 本项目开发的以三维白光干涉仪为核心检测技术，配以自动化的球体移动装置和自主开发的球体三维圆度、直径、面型、粗糙度分析软件，将可以满足精密球体制造和加工所急需的纳米级三维检测需求。 精密球体的圆度，直径，及表面粗糙度目前一般用接触式轮廓仪来测量。其缺点是误差大，检测速度慢，且无法用作在线检测。由于接触式轮廓仪是一个二维测量仪器，对圆度及直径的测量由于无法保证每次测量都经过轴承的最高点而引入较大的误差。另外，由于测量本身受二维的限制，对许多重要的表面参数无法直接获得，比如对于球体的磨损、摩擦、润滑等至关重要的S参数的测量，就必须用三维检测方法才能得到准确的参数。 目前国际上对面型的测量已开始采用基于三维检测的一些标准，基于三维检测的参数更能反映出被测表面的物理特性。采用三维检测方法，一次测量就可得到表面粗糙度的准确信息，并可三维参数对表面特性进行进一步的分析，以得到更深层次的被测面表面特性。
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