技术与产品名称：智能型超精密平面抛光机
产品型号：Nanopoli-100
荣誉：获2007年度国家科技进步二等奖
智能型超精密平面抛光机（Nanopoli-100）采用能够不断改善抛光盘平面度的修正环在线修整装置，专家数据库智能控制系统，多台、多工序集中控制方式和远程控制功能等先进技术，加工效率较传统抛光机大幅度提高，并且在配套工艺条件下可获得极高的平面度、超平滑的表面质量以及产品质量的高度一致性。
智能型超精密平面抛光机（Nanopoli-100）
主要技术指标
分 类
| 项 目 | 指 标 |
| 工位数
外形尺寸（mm）
重量 | 2
610×610×626
约180kg |
主机 | 抛光盘 | 抛光盘尺寸（mm）
抛光盘材料
回转方向
回转速度
最低稳定转数
总转数控制精度 | 300Ф×20
铸铁、锡、铜、无纺布、木料等
顺时针方向(俯视)
0～120rpm
5rpm
±0.5°（与总抛光盘总转数的设定无关） |
砝码 | 加压方式
砝码
最大负载
特殊加载 | 砝码加压
约1.8kg/个
30kg/工位×2
斜砝码 |
控制部分 | 电源
电动机
控制方式
安全装置
外观尺寸（mm）
重量
控制显示 | AC220V
400W直流无刷电机
闭环控制
过载自动保护刹车
515×360×190
180Kg
液晶控制面板 |
外型图
●应用领域
1）石英晶体，压电晶体，Si基片，宝石片，GaAs，光学玻璃，磁性材料，结构陶瓷材料，硬脆非金属材料试件以及金属材料的平面镜面研磨和抛光；
2）精度金属量具（如块规）及机械零件的平面镜面研磨和抛光；
3）矿物的EPMA评价，AME，物性试验，金相等分析用试料的平面镜面研磨和抛光；
4）复合材料界面，加工表面变质层的无损伤角度研磨；
5）TEM用薄片的研磨。
Nanopoli-100已在近百家科研院所和企业中得到广泛应用。
