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技术与产品名称:智能型超精密平面抛光机
产品型号:Nanopoli-100
荣誉:获2007年度国家科技进步二等奖

智能型超精密平面抛光机(Nanopoli-100)采用能够不断改善抛光盘平面度的修正环在线修整装置,专家数据库智能控制系统,多台、多工序集中控制方式和远程控制功能等先进技术,加工效率较传统抛光机大幅度提高,并且在配套工艺条件下可获得极高的平面度、超平滑的表面质量以及产品质量的高度一致性。
智能型超精密平面抛光机(Nanopoli-100)
主要技术指标

分    类

项    目

指        标

 

工位数
外形尺寸(mm)
重量

2
610×610×626
约180kg

主机

 

抛光盘

抛光盘尺寸(mm)
抛光盘材料
回转方向
回转速度
最低稳定转数
总转数控制精度

300Ф×20
铸铁、锡、铜、无纺布、木料等
顺时针方向(俯视)
0~120rpm
5rpm
±0.5°(与总抛光盘总转数的设定无关)

 

砝码

加压方式
砝码
最大负载
特殊加载

砝码加压
约1.8kg/个
30kg/工位×2
斜砝码

控制部分

电源
电动机
控制方式
安全装置
外观尺寸(mm)
重量
控制显示

AC220V
400W直流无刷电机
闭环控制
过载自动保护刹车
515×360×190
180Kg
液晶控制面板

外型图
●应用领域
 
 1)石英晶体,压电晶体,Si基片,宝石片,GaAs,光学玻璃,磁性材料,结构陶瓷材料,硬脆非金属材料试件以及金属材料的平面镜面研磨和抛光;
2)精度金属量具(如块规)及机械零件的平面镜面研磨和抛光;
3)矿物的EPMA评价,AME,物性试验,金相等分析用试料的平面镜面研磨和抛光;
4)复合材料界面,加工表面变质层的无损伤角度研磨;
5)TEM用薄片的研磨。
Nanopoli-100已在近百家科研院所和企业中得到广泛应用。

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